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動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀報價(jià)推薦「在線(xiàn)咨詢(xún)」

2021-06-21







右側部分為氣路原理

用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成，并可通過(guò)手動(dòng)方式，控制內部截止閥（V1-V6的開(kāi)關(guān)）

INLET1 - 設備所用背景氣，一般為空氣或氮氣。

INLET2 – 原料氣，用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。

初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體，系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下，在使用二級配氣條件下，初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下，用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。

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技術(shù)參數

◆ 四路進(jìn)口質(zhì)量流量控制器

◆ 儀器精度：±1%F.S。

◆ 稀釋比為：300：1（流量范圍、稀釋倍數等根據用戶(hù)要求可隨便設計及裝配）

◆ 輸出流量：1000mL/min

◆ 流量線(xiàn)性誤差：≤±0.5% F.S.

◆ 配氣不確定度：≤±1% F.S.

◆ 預熱時(shí)間：20min

◆ 環(huán)境溫度：-20℃～+55℃

◆ 環(huán)境濕度：（15~85）% RH

◆ 大氣壓力：（86~106）KPa

◆ 電源電壓：AC 220V±10%  50Hz

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配氣儀的原理

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利用單片機控制高速三通電磁閥，通過(guò)對兩路氣體通斷進(jìn)行選擇，從而達到調節每一路氣體的采樣量，獲得設定濃度的氣體，從而實(shí)現氣體配比。

曉韜科技公司擁有先進(jìn)的技術(shù)，我們都以質(zhì)量為本，信譽(yù)高，我們竭誠歡迎廣大的顧客來(lái)公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對配氣儀感興趣，歡迎點(diǎn)擊左右兩側的在線(xiàn)客服，或撥打咨詢(xún)電話(huà)。






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